投影式光刻機(jī)，最重要的就是掩膜版的制作，掩膜版制作完成，工作就算是完成了大半。
不過由于多層次立體晶體管架構(gòu)的特殊性，掩膜版并不止一塊，而是多塊多層次，分別進(jìn)行曝光，才能完成。
多塊掩膜版的切換，自然也不是原本的光刻機(jī)能夠做到的，為此楊青對光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)，還有工作臺，做了大改，以適應(yīng)這些特別的加工需求。
也幸虧楊青是生活在華國這個加工業(yè)的大國，大部分的零部件，哪...
投影式光刻機(jī)，最重要的就是掩膜版的制作，掩膜版制作完成，工作就算是完成了大半。
不過由于多層次立體晶體管架構(gòu)的特殊性，掩膜版并不止一塊，而是多塊多層次，分別進(jìn)行曝光，才能完成。
多塊掩膜版的切換，自然也不是原本的光刻機(jī)能夠做到的，為此楊青對光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)，還有工作臺，做了大改，以適應(yīng)這些特別的加工需求。
也幸虧楊青是生活在華國這個加工業(yè)的大國，大部分的零部件，哪...